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多功能智能化电感测微仪

电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，它由主体和测头两部分组成，配上相应的测量装置（例如测量台架等），能够完成各种精密测量。例如，检查工件的厚度、内径、外径、椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等，被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。目前，国内常用的电感测微仪有指针式和数字式两种，存在的问题较多，如高精度测量范围小，零位调节不方便、功能单一和通用性差等。文中介绍了一种以8031单片机为核心，采用现有的电感式传感器测头的多功能、智能化电感测微仪。它通过编制软件实现仪表的高精度、智能化、多功能化，经过反复的实验与使用，已证明其精度高、操作方便、性能稳定。

其主要的技术指标如下：

（1）测量范围：0~±30μm档及0~±500μm档；

（2）示值误差：0~土30μm档为0.1μm，0~±500μm档为1μm；

（3）分辨率：0~±30μm档为0.01μm，0~±500m档为0.1μm.

（4）极性：当测量值为负时，自动显示“-”；为正时，无极性符号。

2、工作原理及硬件电路设计

2.1工作原理

该智能电感测微仪的硬件电路主要包括电感式传感器、正弦波振荡器、放大器、相敏检波器及单片机系统。正弦波振荡器为电感式传感器和相敏检波器提供了频率和幅值稳定的激励电压，正弦波振荡器输出的信号加要及时记录其屈服载荷到测量头中由线圈和电位器组成的电感阻燃剂桥路上。工件的微小位移经电感式传感器的测头带动两线圈内衔铁移动，使两线圈内的电感量发生相对的变化。当衔铁处于两线圈的中间位置时，两线圈的电感量相等，电桥平衡。当测头带动衔铁上下移动时，若上线圈的电感量增加，下线圈的电感量则减少；若上线圈的电感量减少，下线圈的电感量则增加。交流阻抗相应地变化，电桥失去平衡从而输出了一个幅偃师值与位移成正比，无油轴承频率与振荡器浴室镜频率相同，相位与位移方向相对应的调制信号。此信号经放大，由相敏检波器鉴出极性，得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号，经A/D转换器输入到单片机，经过数据处理进行显示、传输、超差报警、统计分析等。

2.2硬件系统组成

硬件系统由前相通道、单片机系统、人机通道电路组成，前相通道电路的作用是把电感式传感器转换成的电信号进行放大、分档、相敏检波等处理后供A/D采样用。它包括正弦波振荡电路，交直流放大电路，相敏检波电路，A/D转换电路。单片机系统及人机通道电路主要实现把前相通道电路传送的模拟信号经A/D转换后，送入单片机系统进行数据处理，实时地显示测量结果，按不同的功能键可以实现不同的功能。单片机系统硬件电路如图2所示。

2.3硬件特点

（1）在运算放大器的选择上，本仪器均采用低漂移、低噪声的运算放大器OP07.由OP07组成了集成化的交、直流放大器电路，双T络正弦波发生器，集成的相敏检波电路和滤波器等，省去了传统电感测微仪使用的二极管、三极管和变压器等，使得由二极管和三极管造成的非线性特性以及饱和压降和反向电流得以改善；省去变压器，调试制作比较方便，重量也较轻，可靠性增强。

（2）本仪器选用了逐次比较式12位A/D转换器AD574，它的非线性误差小于±1/2LBS或±1LBS，一次转换时间约为25μs ，因其冲击机操作步骤片内配有三态输出缓冲器，可直接与各种典型的8位和16位微处理器相连，满足了测量精度和实时显示的要求，应用非常方便。

（3）本仪器采用了专业的显示器及键盘接口芯片8279，单个芯片就能完成键盘输入和LED显示控制两种功能，显示方因此PP材料必须具有耐热氧老化的性能式为动态显示，6位LED显示器可以实现显示测量结果。整机设有5个功能键，能够实现如下功能：显示被测工件的峰值，并把峰值存入数据存储器，留待处理；可以进行统计分析，显示一百个工件分组后各组的平均值和极值，直方图的频数，总平均值和极值；可以进行绝对测量和相对测量的转换；可以设定被测工件的上、下偏差，当被测工件的峰值超出设定值时，就要报警显示；可以实现±500μm和±30μm档的转换。

3、软件设计

软件部分采用了MCS-51汇编语言编写，运用了模块化的结构形式。系统软件分为主程序模块和中断处理模块。主程序由系统初始化子程序、A/D转换、数字滤波、非线性修正、数据处理及更新显示等子程序组成，其框图如图3所示。

本仪器采用了防脉冲干扰的平均值滤波的方法，即把采样信号按照从大到小的顺序排列起来，然后将最大值和最小值去掉，再把其余值求和并取平均值。这种滤波方法的表达式为：

式中：n为采样次数；xi为采样值；yk为采样平均值。

非线性修正子